Профприбор
При изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем различных типов немаловажным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий процент выхода годной продукции. Одним из этапов технологического процесса изготовления является масс-спектрометрический контроль герметичности. Для решения этих задач используется установка контроля герметичности для поточных производств УКГ-4П.
УКГ-4П представляет собой технологическое оборудование, состоящее из 4х (по согласованию и более) вакуумных камер, высоковакуумного безмасляного поста и масс-спектрометрической части с собственной высоковакуумной откачкой, смонтированных в едином конструктиве в виде моноблока. Установка позволяет проводить контроль герметичности следующими способами: способ вакуумной камеры, способ обдува. Оператором программно может быть задействовано в работе нужное количество пеналов. Информация о работе установки и результат контроля каждого пенала выводится на встроенный компьютер и отображается на цветном экране с сенсорным вводом. Стартом продолжения контроля последующего пенала является закрытие крышки загружаемого пенала. Отличительной особенностью установки является возможность управлять производительностью и чувствительностью.
Производительность установки: в высокочувствительном режиме – более 360 испытаний в час – чувствительность режима 1х10^-11 м^3Па/с.; повышенная производительность – более 700 испытаний в час – чувствительность режима 5х10^-10 м^3Па/с. Пеналы снабжены световой индикацией, при превышении установленного браковочного признака раздается звуковой сигнал.
Особенности:
- Чувствительность масс-спектрометрической ячейки – 5х10^-13 м^3Па/сек.
- Возможность управления производительностью и чувствительностью.
- Темп работы (производительность) задается оператором.
- Автоматизация процессов.
- Настраиваемые алгоритмы ПО под конкретные задачи.
- Возможность изготовления пеналов любого размера по согласованию.
режим “пауза”. - Отсутствие кинематики (движущихся механических частей).
- Моноблочная вакуумная система.
- Отсутствие необходимости в смазке.
- Комбинация без масляных откачных агрегатов.
- Эргономика ориентирована на работу оператора сидя.
