Профприбор
Установка представляет собой комбинацию высоковакуумного откачного поста, состоящего из высокопроизводительного сухого спирального форвакуумного насоса, высоковакуумного турбомолекулярного насоса, высоковакуумного криосорбционного насоса, оснащенных вакуумной запорной арматурой и масс-спектрометрического модуля контроля герметичности. В схеме установки применен масс-спектрометрический анализирующий модуль гелиевого течеискателя МС-4. Работа установки осуществляется в автоматическом или ручном режимах. Вывод информации и управление работой осуществляется с внешнего компьютера.
Установка снабжена откачными агрегатами различных типов, в том числе агрегатом, имеющим весьма малую скорость откачки пробных газов (Н2, 3Не, 4Не) – криосорбционным насосом, что обеспечивает возможность работы в режиме накопления и регистрации сверхмалых потоков указанных газов.
При работе с откачными агрегатами высокой скорости откачки всего спектра масс (спиральным форвакуумным насосом высокой производительности и турбомолекулярным насосом) установка может использоваться в качестве прибора неразрушающего контроля герметичности – масс-спектрометрического течеискателя. В этом случае контроль герметичности и измерение потоков пробных газов может осуществляться всеми способами контроля: прямоток, противоток, щуп, вакуумная камера. Для калибровки измерений в приборе установлены источники эталонных потоков пробных газов 3Не и 4Не.
Допускается работа с индикацией пробных газов других масс, до массы 40 (Ar) включительно. Однако вследствие изменения условий формирования ионного пучка чувствительность установки к потокам «тяжелых» пробных газов будет снижаться.
Основным органом управления комплекса, обеспечивающим интерфейс оператора и алгоритм функционирования на верхнем уровне, является удаленный компьютер, подключаемый к системе управления через внешний помехозащищенный интерфейс RS-422. Через интерфейс передаются команды во внутренний процессор управления системы, отвечающий за выполнение команд оператора и передачу измеряемых данных, а также информации о состоянии отдельных узлов компьютеру.
К системе управления подключаются: устройство разгерметизации и сменные измерительные камеры. Непосредственное управление работой этих узлов обеспечивает процессор управления системы по командам оператора в ручном режиме или в соответствии с автоматическим алгоритмом измерения.
Применение:
- Измерение скорости выделения гелия из деталей и узлов.
- Контроль герметичности всех видов вакуумных систем и вакуумированных объектов в процессе их изготовления и эксплуатации.
- Контроль герметичности электровакуумных и полупроводниковых приборов.
- Контроль герметичности различных герметизированных не откачиваемых объектов, изделий и пр.
