Особенности:
- Разрешение: 3нм при З0кВ (SE) / 6нм при 1кВ (BSE) HV, LV.
- Увеличение: 6x – 300 000X.
- Размер образца: 175 мм, Ток пучка: 10 пА – 0. 1 мкА.
- Ускоряющее напряжение: 0-30кВ.
- 5-осевой столик образца (авто X/Y, ручной Z/R/T).
- Возможность апгрейда катода LaB6 (гексаборид лантана), рентгеновский детектор, EBSD, CL, WDS, напылительная установка.
- Модификации EBL, STM, AFTM, режим нагрева, режим заморозки, режим
- растяжения, SEM+лазер.



