Особенности:
- Разрешение: 15н при З0кВ (SE).
- Увеличение: 20x – 60 000X.
- Размер образца: 80 мм.
- Ускоряющее напряжение: 1-30кВ.
- 20x~60000x разрешение 15нм с детектором вторичных электронов SE, опционально BSE, EDS.
- Стандартный X/Y/R 3-осевой столик образца, опционально: 5-осевой рабочий столик образца X/Y/Z/R/T.
- 2-ступенчатая электромагнитная конденсорная линза, 1-ступенчатый.
- Электромагнитный объектив.
- Вакуумная система: 1 турбомолекулярный насос + 1 форвакуумный насос.
- Автостарт, Автофокус, Автояркость/контраст.